绑定服务Bonding

为了避免脆性金属、合金、氧化物等易裂材料在使用过程中破裂，ELETM可为客户提供绑定（Bonding）服务，把靶材绑定在铜背板上，除了具有保护靶材免于运送或者拿取中的意外破裂，也可确保靶材的冷却及电接触良好，并可改善靶材使用时机械强度不足的问题或解决大尺寸面积靶材受限的问题。一般靶材绑定用的背板为金属铜， 金属钛，金属钼和不锈钢，背板是在溅射时支撑靶材，以防靶材在溅射中出现开裂等问题，提高靶材的使用率和使用寿命。

ELETM目前能提供纯铟、InSn系列、自主研发的高温导电胶系列等焊料绑定服务，绑定率＞95%，达到国际领先水平。

绑定范围：金属靶、陶瓷靶、合金靶、旋转靶、平面靶、圆形靶、异形靶。

检测方法：超声波探伤检测C-SCAN