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溅射靶材

溅射靶材

金属靶材合金靶材陶瓷靶材

金属靶材-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	规格
金属铝靶材	Al	99.99%，99.999%，99.995%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铋靶材	Bi	99.999%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属硼靶材	B	99.999%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属镉靶材	Cd	99.999%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铈靶材	Ce	99.95%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铬靶材	Cr	99.5%, 99.9%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铬靶材	Cr	99.95%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铜靶材	Cu	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铜靶材	Cu	99.9999%,99.9999%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属镝靶材	Dy	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铒靶材	Er	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铕靶材	Eu	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属钆靶材	Gd	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属锗靶材	Ge	99.999%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
贵金属金靶材	Au	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
碳，石墨靶材	C	99.999%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铪靶材	Hf	99.95%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属钬靶材	Ho	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铟靶材	In	99.999%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
贵金属铱靶材	Ir	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铁靶材	Fe	99.9%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属镧靶材	La	99.95%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铅靶材	Pb	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属镥靶材	Lu	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属镁靶材	Mg	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属锰靶材	Mn	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属钼靶材	Mo	99.95%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属钕靶材	Nd	99.95%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属镍靶材	Ni	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铌靶材	Nb	99.95%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属钯靶材	Pd	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
贵金属铂靶材	Pt	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属镨靶材	Pr	99.95%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
贵金属铼靶材	Re	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
贵金属钌靶材	Ru	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属锑靶材	Sb	99.999%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属钐靶材	Sm	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属钪靶材	Sc	99.999%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属硒靶材	Se	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属硅靶材	Si	99.999%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
贵金属银靶材	Ag	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属钽靶材	Ta	99.95%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属碲靶材	Te	99.99%，99.999%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铽靶材	Tb	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属铥靶材	Tm	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属锡靶材	Sn	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属钛靶材	Ti	99.9%，99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属钨靶材	W	99.95%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属钒靶材	V	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属镱靶材	Yb	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属钇靶材	Y	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属锌靶材	Zn	99.99%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
金属锆靶材	Zr	99.5%	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工

合金靶材-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	成分比列	形状
铜铝合金靶材	Al-Cu	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铝铬合金靶材	Al-Cr	99.95%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铝镁合金靶材	Al-Mg	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铝钕合金靶材	Al-Nd	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铝硅合金靶材	Al-Si	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铝硅铜合金靶材	Al-Si-Cu	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铝银合金靶材	Al-Ag	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铈钆合金靶材	Ce-Gd	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铬硅合金靶材	Cr-Si	99.95%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
钴铬合金靶材	Co-Cr	99.95%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
钴铁合金靶材	Co-Fe	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
钴镍合金靶材	Co-Ni	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
钴铁硼合金靶材	Co-Fe-B	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铜钴合金靶材	Cu-Co	99.95%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铜钆合金靶材	Cu-Ga	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铜铟合金靶材	Cu-In	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铜镍合金靶材	Cu-Ni	99.95%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铜锆合金靶材	Cu-Zr	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铪铁合金靶材	Hf-Fe	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铁硼合金靶材	Fe-B	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铁碳合金靶材	Fe-C	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铁锰合金靶材	Fe-Mn	99.5%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铱锰合金靶材	Ir-Mn	99.5%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铱铼合金靶材	Ir-Re	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铟锡合金靶材	In-Sn	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
钼硅合金靶材	Mo-Si	99.5%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
钼铌合金靶材	Mo-Nb	99.95%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
镍铝合金靶材	Ni-Al	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
镍铬合金靶材	Ni-Cr	99.95%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
镍铬硅合金靶材	Ni-Cr-Si	99.95%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
镍铁合金靶材	Ni-Fe	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
镍铌钛合金靶材	Ni-Nb-Ti	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
镍钛合金靶材	Ni-Ti	99.95%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
镍钒合金靶材	Ni-V	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
钐钴合金靶材	Sm-Co	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
银铜合金靶材	Ag-Cu	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
银锡合金靶材	Ag-Sn	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
钽铝合金靶材	Ta-Al	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铽镝铁合金靶材	Tb-Dy-Fe	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
铽铁合金靶材	Tb-Fe	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
钛铝合金靶材	Ti-Al	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
钛镍合金靶材	Ti-Ni	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
钛铬合金靶材	Ti-Cr	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
钨铼合金靶材	W-Re	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
钨钛合金靶材	W-Ti	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
锆铝合金靶材	Zr-Al	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
锆铁合金靶材	Zr-Fe	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
锆镍合金靶材	Zr-Ni	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
锆铌合金靶材	Zr-Nb	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
锆钛合金靶材	Zr-Ti	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
锆钇合金靶材	Zr-Y	99.9%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
锌铝合金靶材	Zn-Al	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工
锌镁合金靶材	Zn-Mg	99.99%	按客户要求	圆靶，平面靶，旋转靶，多弧靶，异形靶，按图纸加工

陶瓷靶材（氧化物）-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	规格
三氧化二铝靶材	Al2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
三氧化二锑靶材	Sb2O3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化锡掺氧化锑靶材	(Sb:SnO2)(ATO)	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
钛酸钡靶材	BaTiO3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
三氧化二铋靶材	Bi2O3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二氧化铈靶材	CeO2	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
三氧化二铬靶材	Cr2O3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化铜靶材	CuO	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化镝靶材	Dy2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化铒靶材	Er2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化铕靶材	Eu2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化铁靶材	Fe2O3	99.95%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化镓靶材	Ga2O3	99.995%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化钆靶材	Gd2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二氧化铪靶材	HfO2	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化钬靶材	Ho2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
三氧化二铟靶材	In2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化铟掺氧化锡靶材	ITO	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
三氧化二铁靶材	Fe2O3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
四氧化三铁靶材	Fe3O4	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
铝酸镧靶材	LaAl2O3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
铌酸镧靶材	LaNbO3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化铅靶材	PbO	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
钛酸铅靶材	PbTiO3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
锆酸铅	PbZrO3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
铌酸铅靶材	LiNbO3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化镥靶材	Lu2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化镁靶材	MgO	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化钼靶材	MoO	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
三氧化二钼靶材	MO3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化钕靶材	Nd2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
一氧化镍靶材	NiO	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
五氧化二铌靶材	Nb2O5	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化镨靶材	Pr6O11	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
钛锆酸铅靶材	PZT(PbZrO3-PbTiO3)	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化钐靶材	Sm2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化钪靶材	Sc2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
一氧化硅靶材	SiO	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
铬掺一氧化硅靶材	Cr-SiO	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二氧化硅靶材	SiO2	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
钛酸锶靶材	SrTiO3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
锆酸锶靶材	SrZrO3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
五氧化二钽靶材	Ta2O5	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化铽靶材	Tb4O7	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化铥靶材	Tm2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
三氧化二钛靶材	Ti2O3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
五氧化三钛靶材	Ti3O5	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
一氧化钛靶材	TiO	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二氧化钛靶材	TiO2	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化钨靶材	WO3	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化钨靶材	WO2.9	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
五氧化二钒靶材	V2O5	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化钇靶材	Y2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化镱靶材	Yb2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化锌靶材	ZnO	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化铝掺氧化锌靶材	AZO(ZnO:Al2O3)	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化钆掺氧化锌靶材	GZO(ZnO:Gd2O3)	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化铟掺氧化锌靶材	IZO(ZnO:In2O3)	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二氧化锆靶材	ZrO2	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
钛掺氧化锆靶材	Ti:ZrO2	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化钇稳定氧化锆靶材	YSZ(ZrO2:Y2O3)	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化硅掺氧化锆靶材	ZrO2+SiO2	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
La0.67Sr0.33MnO3	LSMO	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
铟镓锌氧	IGZO	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工

陶瓷靶材（氮化物）-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	规格
氮化铝靶材	AlN	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氮化硼靶材	BN	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氮化镓靶材	GaN	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氮化铪靶材	HfN	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氮化铌靶材	NbN	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氮化硅陶瓷靶材	Si3N4	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氮化钽靶材	TaN	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碳氮化钛靶材	TiCN	99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氮化钛陶瓷靶材	TiN	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氮化钒靶材	VN	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氮化锆靶材	ZrN	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工

陶瓷靶材（碳化物）-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	规格
碳化硼靶材	B4C	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碳化铬靶材	Cr3C2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碳化铪陶瓷靶材	HfC	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碳化钼靶材	Mo2C	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碳化铌靶材	NbC	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碳化硅靶材	SiC	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碳化钽靶材	TaC	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碳化钛靶材	TiC	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碳氮化钛陶瓷靶材	TiCN	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碳化钨靶材	W2C	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碳化钨靶材	WC	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
掺镍碳化钨靶材	WC+Ni	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
掺钴碳化钨靶材	WC+Co	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碳化钒陶瓷靶材	VC	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碳化锆靶材	ZrC	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工

陶瓷靶材（氟化物）-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	规格
氟化铝陶瓷靶材	AlF3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化钡	BaF2	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化镉	CdF2	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化钙陶瓷靶材	CaF2	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化铈	CeF3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化镝	DyF3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化铒	ErF3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化铪陶瓷靶材	HfF4	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化镧	LaF3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化锂	LiF	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化镁	MgF2	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化钕陶瓷靶材	NdF3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化钾	KF	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化谱	PrF3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化铅	PbF2	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化钠陶瓷靶材	NaF	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化锶	SrF3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化钐	SmF3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
冰晶石 (Cryolite)	Na3AlF6	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化钍	ThF4	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化镱	YbF3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化钇	YF3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工

陶瓷靶材（硅化物）-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	规格
硅化铬靶材	CrSi	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硅化铬	CrSi2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硅化三铬陶瓷靶材	Cr3Si	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硅化钴	CoSi2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硅化铪	HfSi2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
三硅化五钼陶瓷靶材	Mo5Si3	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硅化钼靶材	MoSi2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硅化镍	NiSi	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
三硅化五铌陶瓷靶材	Nb5Si3	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硅化铌	NbSi2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
三硅化五钽	Ta5Si3	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硅化钽靶材	TaSi2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
三硅化五钛陶瓷靶材	Ti5Si3	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硅化钛靶材	TiSi2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硅化钨	WSi2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硅化三钒陶瓷靶材	V3Si	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硅化钒	VSi2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硅化锆靶材	ZrSi2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工

陶瓷靶材（硫化物）-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	规格
硫化砷	As2S3	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硫化锑陶瓷靶材	Sb2S3	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硫化镉	CdS	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硫化铜	CuS	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硫化铟陶瓷靶材	In2S3	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硫化铁	FeS	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硫化铅陶瓷靶材	PbS	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硫化钼靶材	MoS2	99.95%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硫化锰	MnS2	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硫化铌	NbS1.75	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硫化钽	TaS2	99.95%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硫化钨陶瓷靶材	WS2	99.95%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硫化锌靶材	ZnS	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工

陶瓷靶材（硼化物）-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	规格
硼化二铬	Cr2B	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硼化铬靶材	CrB2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硼化铬	CrB	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
三硼化五铬	Cr5B3	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硼化铪	HfB2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硼化铁	FeB	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
六硼化镧靶材	LaB6	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硼化二钼靶材	Mo2B	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
五硼化二钼	Mo2B5	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硼化铌	NdB	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硼化铌靶材	NdB2	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硼化钽	TaB	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硼化钽	TaB2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硼化锆靶材	ZrB2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硼化钛靶材	TiB2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硼化钨	WB	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硼化钨靶材	WB2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硼化钒	VB	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硼化钒	VB2	99.5%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工

陶瓷靶材（硒化物）-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	规格
硒化铋靶材	Bi2Se3	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硒化铬	CdSe	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硒化镓	Ga2Se3	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硒化铟	In2Se3	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硒化铅靶材	PbSe	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硒化钼	MoSe2	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硒化铌	NbSe2	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硒化钽靶材	TaSe2	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二硒化钨	WSe2	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
硒化锌靶材	ZnSe	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工

陶瓷靶材（碲化物）-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	规格
碲化铝靶材	AlTe	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碲化镉靶材	CdTe	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碲化铅靶材	PbTe	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碲化钼	MoTe2	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碲化铌	NbTe2	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碲化钽	TaTe2	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碲化钨	WTe2	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
碲化锌靶材	ZnTe	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工

陶瓷靶材（锑化物）-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	规格
锑化铟	InSb	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
锑化镓	GaSb	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
锑化镍	NiSb	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工

陶瓷靶材（砷化物）-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	规格
砷化铟	InAs	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
砷化锡	SnAs	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
砷化镓靶材	GaAs	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工

陶瓷靶材（混合掺杂物）-ELETM元素金属
材料名称	化学符号	纯度	规格
氧化铝+氧化镁	Al2O3+MgO 1:1	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化铝+氧化锆	Al2O3 +ZrO2 6:4	99.95%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化铝+氧化锌	Al2O3+ZnO	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化锑+氧化锌	ZnO+Sb2O3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氟化钙+氟化铈	(CaF2 +CeF3 1:1)	99.9%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
五氧化二铌+二氧化钛	TiO2+ Nb2O5 7:3	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
五氧化二钽+二氧化钛	Ta2O5+ TiO2 1:1	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
五氧化二钽+二氧化锆	Ta2O5+ ZrO2 3:7	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
二氧化钛+二氧化锆	TiO2+ ZrO2 1:1	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
磷化铟靶材	InP	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
磷化镓靶材	GaP	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化铜铟 (CuO+In2O3)	CuInO2	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
钇铝石榴石(Y3Al5O12)	YAG	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
氧化钇掺氧化锆	YSZ	99.99%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工
YBa2Cu3O7-x	YBCO	99.999%	圆靶，平面靶，异形靶，按图纸加工

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